罗茨泵的特点是:
1.转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙,真空泵公司,互不接触,不需要用油润滑。
2.转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。
3.泵工作时振动小,容积大,容积利用系数=0.5左右。
4.在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也正因如此,可抽除可凝性蒸汽。
5.启动快,能够在短时间内达到极限真空。功率小,运转维护费用低。
6.罗茨泵在很宽的压力范围内(1000Pa~1Pa)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵(1000Pa~1Pa)时抽速都很小的缺陷。因此,它适合作增压泵用。
选用真空泵时,干式螺杆真空泵,需要注意下列事项:
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
常常有客户为选型水环真空泵的问题来寻问,其实选用真空泵时主要依据泵的抽气速率和极限真空度两个目标。极限真空度由出产工艺条件决议,这是不难知道的,然而在选用时对于真空泵的抽气才干, 常常缺少数据,国产真空泵,致使束手无策。真空泵的抽气量应该包括:从出产进程中放出的不凝性气体,河南真空泵,冷却水释放的溶解空气,进程中流体的饱满蒸汽压的当量位,以及从设备和管道衔接不严密处漏入的空气。可是,由于进程中放出的不凝 性气体量一般很小,能够忽略不计,故要害组成是后两项。